微电子企业过滤器的应用高效过滤器和超高效过滤器
微电子企业过滤器的应用高效过滤器和超高效过滤器
近些年微电子产业技术的迅速发展,明创环保。总工程师来主要说一下微电子行业应用的过滤器产品,高效过滤器和超高效过滤器。
随着微电子产业技术的迅速发展,在微电子工业厂房的净化等级逐渐提高,微电子厂房使用过滤器的类型从高效过滤器(HEPA)到超高效过滤器(ULPA)那么这两种普通生产环境下不常用到的过滤器的具体应用和基本的过滤参数明创环保来给各位总工简单介绍一下,以便日后采购和选择..
HEPA高效过滤器
HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思为高效空气过滤器,达到HEPA标准的过滤网,对于0.1微米和0.3微米的有效率达到99.998%,HEPA网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。
无隔板高效空气过滤器(HEPA)主要用于电子、医药行业和医院等要求高洁净度的场合的终端过滤
ULPA高效过滤器
ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)全称为超高效空气过滤器,或称超低穿透率空气过滤器,对0.1~0.2μm的微粒、烟雾和微生物等尘埃粒子的过滤效率达到99.999%以上。
ULPA过滤器特点:滤芯用超细玻璃纤维滤料经打胶折叠而成,外框可选用夹层木板、镀锌铜板、不锈钢板及铝合金板,通过聚氨酯胶紧密粘接,具有质量轻、透气量大,集尘率高达99.95-99.999%,且耐碱,耐高温。 用途:适用于10000级-100级洁净系统,空调系统,因此产品已广泛应用于电子、微电子、半导体、光器件、生物和医药线路、照相机和光学仪器、精密机械等多个领域。
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